Gravure

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Alcaline Wet Etching of Silicon
Gravure du silicium par une attaque alcaline
Exemples de gravure anisotrope du Si par RIE

Gravure par attaque chimique (isotrope et anisotrope)

Gravure par plasma réactif (RIE)

Gaz disponibles: CHF3 SF6 O2

Matériaux : Si SiO2 Si3N4 TiO2 WO3

Gravure de métaux par plasma couplé inductivement (ICP)

Usinage ionique (Gravure par faisceau d’argon)

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